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設(shè)備名稱 磁控濺射sputter 品牌型號 MSP-400D
設(shè)備用途
蒸鍍金、氧化鋁、五氧化二鉭、氧化鉻、ITO、GSBT等材料 （鎳、鈦、鉑、銅、鐵、鋁、鉻、銀、硅、鎢、銦、鉭、鉬、鍺，氧化鉻、氧化鋅、氧化硅、氧化鋁。）也可自帶靶材鍍其他材料。
主要技術(shù)指標：
鍍膜尺寸：2inch 3inch 4inch 6inch及碎片
均勻性：≤±5%
加熱器最高烘烤溫度：300℃
極限真空度：≤6.7×10-5Pa
