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自動(dòng)顯影機(jī)

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設(shè)備名稱 自動(dòng)顯影機(jī)  品牌型號(hào) MAX100SVS 

設(shè)備用途
通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的電機(jī)帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng),結(jié)合自動(dòng)噴涂顯影液和背洗,從而實(shí)現(xiàn)晶圓的顯影工藝。帶有自動(dòng)熱板和冷板。

主要技術(shù)指標(biāo):
可用晶圓尺寸:2inch 3inch
最大轉(zhuǎn)速:4500rpm
轉(zhuǎn)速偏差:±5RPM
熱板溫度范圍: 室溫-160℃
冷板溫度范圍:室溫-25℃
顯影均勻性:5%

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